총천연색 AMOLED 대량 생산 비법

2014.08.25 18:00

삼성전자 제공
삼성전자 제공

  미래창조과학부는 성균관대와 AP시스템이 ‘차세대 능동형 유기발광다이오드(AMOLED) 대량생산 기술’에 대한 특허권 통상실시 기술이전계약을 체결했다고 26일 밝혔다.


  기술이전 대가는 정액기술료 15억 원을 2015년까지 납부하는 조건이다.


  저온 실리콘 결정화는 AMOLED 패널 제작의 핵심 공정으로, 증착 과정 중 실리콘 막에 포함되는 수소를 제거하는 탈수소 공정이 필요하다.


  이번에 이전된 기술은 실리콘 막을 증착하는 데 수소를 사용하지 않아 탈수소 공정을 생략할 수 있는 것이 가장 큰 특징이다. 이 기술을 적용한 AMOLED 디스플레이 제조사는 생산설비 및 제조단가 감소, 생산 수율 개선을 달성할 수 있다. 또 기존 실리콘 막 증착 장비는 전량 수입에 의존하고 있기 때문에 본 기술을 적용하면 수입대체 효과도 기대할 수 있다.


  AP시스템은 기존 주력장비인 레이저 열처리 장비를 본 기술과 융합한 단일 공정의 폴리실리콘 막 형성 장비를 개발할 계획이다. 내년 상반기까지 장비 개발과 테스트를 마치고 이후 디스플레이 제조사와 협력해 대형 기판용 양산장비를 개발해 2016년까지 시장에 진입할 예정이다.


  미래부 관계자는 “국가 미래성장동력 및 차세대 먹거리 분야를 선도하는 AMOLED 대량생산 원천기술을 국내 중견기업이 확보하게 됨으로써 산업경쟁력을 확보하고 고부가가치를 창출할 수 있을 것으로 기대한다”며 “앞으로도 사업화 가능한 유망성과가 중소․중견기업에 이전되어 활발히 활용될 수 있도록 계속 지원할 계획이다”고 밝혔다.

 

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