이조원 나노종기원장 "12인치 테스트베드 소부장 기업들 '사각지대' 없앨 것 "

2019.10.31 15:45
이조원 나노종합기술원장이 31일 서울 종로 한 식당에서 열린 기자간담회에서 12인치 테스트베드 구축 및 운영방안을 내놨다. 고재원 기자 jawon1212@donga.com
이조원 나노종합기술원장이 31일 서울 종로 한 식당에서 열린 기자간담회에서 12인치 테스트베드 구축 및 운영방안을 내놨다. 고재원 기자 jawon1212@donga.com

"나노종합기술원에 2022년까지 4년간 총 450억의 사업비가 투입될 예정입니다. 목표는 국내 중소기업에서 개발한 반도체 제품의 성능 검증을 위한 12인치 반도체 테스트베드 개발입니다. 반도체 핵심소재인 포토레지스트를 평가하는 핵심 장비 매입에 사용될 예정입니다."

 

이조원 나노종합기술원장은 31일 서울 종로에서 열린 기자간담회에서 정부가 일본 수출 규제에 맞서 국내 중소기업 기술 경쟁력 강화를 위해 추진하는 12인치 반도체 테스트베드 구축 계획과 관련해 이렇게 말했다. 이 원장은 “12인치 테스트베드 구축을 통해 중소기업의 제품개발에서부터 대기업의 최종 구매까지 막힘없이 연계될 수 있도록 생태계 조성을 위해 노력하겠다“고 했다.

 

이 원장은 지난 9월 제6대 나노종합기술원장 임기를 시작했다. 이 원장은 당시 취임을 하며 “국내 반도체 소재 기업의 국산화 지원을 위해 12인체 테스트베드와 시스템반도체 육성을 위해 지원 체계를 구축할 것”이라는 계획을 밝혔다.
 

일본의 수출규제를 계기로 국내 소재·부품·장비 기업의 국산화 및 글로벌화를 위해 한국형 테스트베드를 구축해야한다는 주장이 여기저기서 나오고 있다. 개발의 완성도를 높이고 수요업체와 공급업체의 부담을 줄이려면 테스트베드가 반드시 필요하다는 것이다. 반도체 소재부품 장비를 국산화하려면 실제 공정과 똑같은 환경에서 평가하는 시설이 필요하다는 학계는 물론 산업계를 중심으로 제기되고 있다. 글로벌 경쟁력을 가르는 기준인 12인치 웨이퍼를 생산하는데 필요한 소재부품 장비를 평가할 성능평가 시설이 필요하단 것이다. 

 

현재 국내 장비 업체 중 5.8%에 불과한 오직 4곳만이 12인치 웨이퍼 기반 장비를 자체 평가할 수 있는 기술을 보유하고 있다. 소재·부품 업체는 12인치 패턴 웨이퍼 관련 기술 평가를 아예 하지 못하고 있는 상황이다. 

 

정부는 지난 8월 5일 나노종합기술원에 12인치 반도체 테스트베드를 구축할 계획을 밝히고 올해 추가경정예산을 긴급편성했다. 이 원장에 따르면 450억원의 사업비 중 대부분이 12인치 테스트베드 구축을 위한 장비 확보에 쓰인다. 이 원장은 "ArF 이머전스캐너 등 장비 10개 확보에 385억원이 투입된다"며 "다만 ArF 이머전 스캐너의 경우 새 제품을 구매하려면 1000억원 이상이 필요하기 때문에 대기업 유휴장비 기증 및 중고장비 구매 등을 통해 예산을 최소화할 것”이라고 말했다. 이밖에도 청정실 증축 및 기계설비에 43억원, 12인치 반도체 장비활용 단위∙모듈 및 특화 공정 개발에 22억원이 투입될 예정이다. 연간 13~15억원 정도의 운영비가 필요할 것으로 추정하고 있다. 


이렇게 구축한 12인치 테스트베드는 중소기업의 제품 검증단계에서 최종 수요기업의 양산단계에 이르기까지 사각지대가 발생하지 않도록 검증시스템을 구축해 기술개발기업과 최종수요기업을 연계하는 교량 역할을 수행할 예정이다. 이 원장은 “기존에 나노종합기술원이 가지고 있는 8인치 장비와 12인치 장비수준의 성능 및 재현성 평가 연계를 통한 신속한 전주기 성능평가 지원 시스템 구축을 추진하겠다”고 밝혔다.

 

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