온도차 이용해 정밀화상 찍는 현미경 나왔다

2013.04.29 18:00
한국기초과학지원연구원 첨단장비개발사업단 김건희 연구원팀은 기계장비나 정밀부품에서 나오는 ‘열(熱)’을 화상으로 찍을 수 있는 ‘열영상현미경’ 개발했다고 29일 밝혔다. 2009년부터 5년간 개발한 이번 장비는 열상 이미지를 3㎛(1㎛=100만분의 1m)까지 구분할 수 있는 초정밀 현미경이다.

이번에 개발한 현미경은 각종 첨단 정밀기계장비 결함검사나 생명과학실험 과정에서 온도차이를 이용해 물질을 살펴보는 분석장비로, 적외선 열화상 장치와 현미경을 결합시켜 5밀리캘빈(mk=1000분의 1K)의 정확도로 초당 100여장의 영상을 촬영할 수 있다. 특히 영하 230도 이하의 극저온에서도 섭씨 1000분의 5도의 정밀도로 영상을 찍어낼 수 있는 것이다.

연구진은 적외선을 측정하는 광학계와 적외선 검출 시스템 등을 모두 자체 개발했다. 선진국이 보유한 열영상현미경과 비교했을 때 온도 분해능은 네 배 더 정밀하다.

김건희 연구원은 “중소기업이나 항공우주, 국방 분야에서도 요구되는 국가 핵심기술을 확보한 것”이라며 "앞으로 반도체소자 결함 검출장비뿐만 아니라 나노·바이오·의료 분야에서 요구하는 수㎛ 크기의 생체시료 분석연구 등으로 질병진단용 생체시료 연구도 활발해 질 것으로 기대된다"고 말했다.

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